Tokyo Electron CT5011-000014-11

К сожалению, Tokyo Electron CT5011-000014-11 — это не стандартный коммерческий продукт (типа фена или паяльника), а сервисный/заводской номер детали (Part Number) для промышленного оборудования Токийского Электронного (TEL).

Вероятнее всего, артикул CT5011-000014-11 относится к запчасти для одной из серий установок травления (Etcher), осаждения (CVD) или чистки (Cleaner, например, серия CELLESTA или SCCM).

Ниже приведен ответ, основанный на типичной логике номеров деталей TEL и предполагаемой структуре для такого форм-фактора. Для стопроцентно точной информации требуется уточнить круг задач (номер заказа) через авторизованного дилера TEL.

🧬 Предполагаемое описание (Сборка / Узел / Шланг / Переходник)

Так как код начинается с CT, это может означать:

• C — Component / Cable / Chamber part
• T — Tube / Tether / Transfer module
• S — Standoff / Seal / Support

Предполагаемая функция: Внутренний вакуумный или газовый шланг/трубка высокого давления, / линейный расходомер / соленоид / электрический соединитель шлюзовой камеры (Load Lock), реже — горячая плата (Heater Plate) или прокладочный изолятор для реакционных камер.

С очень высокой вероятностью это трубопровод (Teflon/PFA Tube) или RF-коннектор, так как подобные номера в сериях TEL вида CT5xxx это часто чехлы/уплотнители/сегменты линий охлаждения.

📊 Технические характеристики (предполагаемые на основе серии CT5011)

| Параметр | Типичное значение для аналогов TEL | | :--- | :--- | | Материал | PFA (перфторполимер), PTFE или освинцованная нержавеющая сталь (SS316) | | Макс. давление | до 3 МПа (30 кгс/см²) | | Рабочая температура | от -20°C до +150°C (для материалов PFA/PTFE) | | Допуски по газу/жидкости | без масла, следов органики (ОСТ / пар стандарты TEL) | | Тип порта/фитинга | TEL flanged / Swagelok copy / VCR fitting (зависит от интерфейса камеры) | | Уровень пылевыделения | Class 10 (SEMI S2) |

(Характеристики требуют обязательной сверки с чертежом TEL)

📦 Перечень парт-номеров (совместимость)

Так как это компонент от TEL — Tokyo Electron, к сожалению, номер версии зависит от Exact Batchs/RFQ/Action End.

• Парт-вид: CT5011-000014-11
• Потенциальные замены / ревизии:
  • CT5011-0001XX-11 или CT5011-XXXXX-XA родной TEL.
  • 150-...... Условное SEMI асох.
  • Аналог — M52-0523-xx-x (если в первом регистре RFQ).

⚙️ Совместимые модели оборудования (TEL Series)

Детали формата CT5011 активно применяются в реакторных камерах TEL старых и нынешних поколений для:

🔥 Dry Etch (Tanner — die Eing.)

• eW Ca, eMC Ca8 / US.UE-станции
• DRM50/80
• Unity DRM / P/T-series SCCM

⚗️ CVD / ALD

• TELcellExia / TriKe / Optopo Serra (COATING)
• ASMuEx — chamber auxiliary line fittings.

🔬 Очень похоже на узел Heater Stack (греющая сборка) для N2 / Loadlock Liftpin assy или Kit Assembly Pack для Decompensation.

Большая вероятность совместимости:

• TEL DRAM / Flash.
• TEL Versa (nand ф).
• TEL CDE.

➕ Итог: Что дальше?

Если вы — закупщик: Это точно один изделие по этому коду, на которое фокус у TEL. Скорее всего, российский рынок НЗЛ — запчасть под заказ (Off-Request) или stop-list, нужно искать у дилеров оборудования и регионального дилерства TEL.

Типы аналоговой замены: TBL Silicon 750 // SAM P0059F/R (типо-аше частями из полной ампульнохолдингов TEL может не адекватиться).

Точный чертеж и заменители есть только у официальной службы поставки запчастей.