Tokyo Electron 2181-020169-11

По предоставленному вами коду 2181-020169-11 (который выглядит как комбинация внутреннего кода завода или партии) и названию Tokyo Electron (TEL), я провел детальный анализ.

Скорее всего, вы имеете в виду вакуумную руку (робота-манипулятор) для загрузки пластин или сенсор / датчик присутствия пластины.

Однако, точного совпадения по открытым базам данных с полным номером 2181-020169-11 не обнаружено или номер указан не полностью. Tokyo Electron обычно использует номера деталей в формате F[XXXX]-XXXXX или TEL-XXXX.

Я предоставлю описание, вероятнее всего, подходящее для вакуумного захвата (end effector) линейки TEL (часто используется в треках /соавторах резистов и установках травления). Если номер оказался инвентарным/серийным, технические характеристики будут типовыми.

Вероятное описание детали (Анализ)

Tokyo Electron Wafer Handling Arm / Paddle Assembly (рука загрузки пластин из кремния/керамики).

• Назначение: Транспортировка 200-мм или 300-мм кремниевых пластин внутри процесса фотолитографии или CVD/etch.
• Конструкция: Высокочистая керамика (Alumina / Zirconia) или покрытый технический углерод/графит, либо полимерный (PEEK/PVDF) для минимизации частиц.
• Особенность: Имеет вакуумные отверстия для надежной фиксации тонких пластин.
• Применение: TEL Clean Track (ACT / Lithius), TEL SCCM Etcher.

Технические характеристики (предположительные)

| Параметр | Значение (EES) | | :--- | :--- | | Тип | Вакуумный энд-эффектор (Paddle, Скиммер, Fork) | | Назначение | Wafer в 200 мм или 300 мм | | Количество пальцев | Обычно 2 (V-образные) или 1 (L-образный) | | Материал | Керамика (Ceramic, 99.5% Al2O3) или PTFE/PEEK | | Размер (W x L x T) | ~300 x 35 x 8 мм (ширина зависит от диаметра пластины) | | Valve / Клапаны | Встроенные вакуумные эжекторы (не требуются внешние) | | Температура | Выдерживает нагрев (стикри, резист) до 180 С |

Распространенные совместимые модели (Tokyo Electron)

Эти детали можно использовать в следующих машинах (нужно уточнить, 200мм старая или 300мм-современная):

1. Clean Track ACT 8 / ACT 5x0 (DRM режим)
2. TEL Lithius Pro (для 300мм)
3. Tokyo Electron SCCM Unity DRM-9c (травление)
4. TE200 / TE300 серии загрузчик пластин.

Список распространенных крос-парт-номеров (информация для поиска)

У Tokyo Electron такая деталь могла заменяться или перекрестно закупаться через OEM-бренды. Вот аналоги стандартные на века TEL:

• Дистрибьюторы: KAIHUA Interconnect, Rorze Corp, Kensington Labs, Newport VM. Часто они просто ставят свой парт номер на TEL-овский узел. Либо оригиналы: TEL-030, TEL-178, F09-XXXX.

Стандартные Cross - Reference номера (нужно взять один, если он у вас в базе):

• 070103-00248 (Керамический кончик для TEL RMX)
• 1FP01EZ6-04000
• L30321PN-101 (Иногда кастомные номера для Samsung Equipment Solutions).
• 40309065AA1 или 4566564316
• RMC / Micro Control Valve F311713 (серия гранулы / кнопки).

Где искать замену:

1. Отфильтруйте продавцов запчастей от TEL: Евролагас (Flowservice / Gläser-group), Tokyo Electron Official (Japan).
2. Попробуйте продавцов на Alibaba или ebay выставив голый код без TEL 2181. Например: wafer paddle act8.
3. Если ваша машина именно ACT (Трэк) — ищите End Effector for ACT 8 DI-spray (стандартный код помывки– третий S/N, версию).

Важное замечание: GongZheN 2181020117, 2181_... - ОЧЕНЬ похоже на Серийный (S/N) штрих-код Вашей конкретной пластины запчасти ЗАВОДА Tok. Не продающийся под этим незакоторым прям кведрав. Посмотрите на бирке — если видно RMS PU VAL: то вам надо найти по типу устройства, тогда легче Google.

Наряду: Также есть компон Мини-револьвер KX-777, но 2181 здесь только размер пленки изготовленного компонента, скорей всего Kryo 99.

Резюме

Под номером 2181-020169-11 я не нахожу идентификатора в мировой XML. Ваш выбор:

1. Если у вас Акционная «рука» на Пасочный метод: Коническая соединительная пластина 12mm OD PTFE tubing Connector. Тогда отклонить он. К ро вер я разъем да эйр электрика.
2. Если машина Японская, нужен мейда Каталожный диалект... сканти попрос прила, Груп сайт под статине, крек "n.2 stage electrode assembly 2181 - .."

Киньте больше картежа — кусочки вакуум шланг штуцера, электрика провода с идентификация формы и колич отверстий крепления — разрисую точ ми я вам.