Tokyo Electron 406055

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для продукта с артикулом Tokyo Electron 406055.

Внимание: Артикул 406055 является внутренним номером запчасти, используемым компанией Tokyo Electron (TEL). Это не модель готового оборудования, а компонент (запасная часть) для него. TEL не продает свое оборудование и запчасти конечным пользователям напрямую, а только через своих сертифицированных инженеров и каналы.

Описание

Tokyo Electron 406055 — это, с высокой долей вероятности, сборка узла клапана (Valve Assembly) или блок управления потоком газа (Gas Flow Unit).

Такие компоненты являются критически важными частями модулей осаждения или травления в оборудовании TEL для производства полупроводников. Они отвечают за точную подачу, смешивание и контроль технологических газов (таких как CF₄, SF₆, Cl₂, BCl₃ и многих других) в вакуумную камеру процессора.

• Назначение: Обеспечение высокоточной, повторяемой и надежной подачи химически активных или инертных газов в процессе изготовления микросхем.
• Применение: Устанавливается в кластерных платформах для производства полупроводников.
• Конструкция: Обычно такой узел состоит из нескольких компонентов: корпуса клапана, привода (пневматического или электрического), соленоидов, датчиков положения, разъемов для подключения к системе управления, а также интерфейсов для подвода газа (VCR, Swagelok). Материалы исполнения — нержавеющая сталь, Hastelloy, специальные эластомеры, стойкие к агрессивным средам.

Технические характеристики (Типовые для подобных узлов)

Поскольку точные спецификации являются коммерческой тайной TEL, ниже приведены типовые характеристики для узла клапана такого класса:

| Параметр | Описание / Типовое значение | | :--- | :--- | | Тип компонента | Сборка клапана / Блок управления газом | | Размер присоединения | 1/4" VCR или 1/4" Swagelok (наиболее вероятно) | | Привод | Пневматический (диафрагменный) или Электрический | | Рабочее напряжение | 24 VDC (для соленоидов) или 100/200 VAC (для привода) | | Давление | Высокий вакуум (до 10⁻⁸ Торр) в рабочей камере, давление на входе до 100 psig | | Скорость потока | Зависит от конкретного процесса, регулируется | | Материалы (контакт с газом) | Нержавеющая сталь 316L, ЭП-сталь, Hastelloy C-22, Ni-Span C | | Уплотнения | Витон (FKM), Калурез (Kalrez), Перфторэластомер (FFKM) | | Степень чистоты | Соответствует стандартам SEMI, пригоден для чистых помещений | | Интерфейс управления | Цифровой или аналоговый сигнал от главного контроллера платформы |

Парт-номера (Part Numbers) и Совместимые модели

Артикул 406055 — это базовый номер детали. В зависимости от ревизии, модификации и конкретной платформы, он может иметь суффиксы или быть частью более крупной сборки.

Потенциальные парт-номера (могут встречаться в накладных или каталогах запчастей):

• 406055-001
• 406055-002
• 406055-XXXXX (где XXXXX - номер ревизии)
• Может также быть частью сборки с номером вроде 406055-A или 406055-KIT

Совместимые модели оборудования (Платформы TEL)

Данный узел с высокой вероятностью используется в следующих кластерных платформах для процессов травления (Etch) и осаждения (CVD/ALD):

• Семейство TEL Trias™: Многофункциональные платформы для травления.
• Семейство TEL Tactras™: Платформы для плазменного травления.
• Семейство TEL Versys™: Платформы для химического осаждения из паровой фазы (CVD).
• Семейство TEL Unity™: Платформы для плазмохимического осаждения (PCVD) и травления.
• Современные платформы:
  • TEL INDIVION™ (для высокоскоростного травления)
  • TEL VIGUS™ (для плазменного травления)
  • TEL SOUNDIUS™ (для ALD и PE-ALD)

Конкретные модели, в которых может применяться этот узел:

• TEL Trias SPA
• TEL Tactras SRC
• TEL Versys Metal
• TEL Unity 230e
• Celliance series

Важное примечание

1. Покупка и установка: Приобрести оригинальную запчасть Tokyo Electron могут только авторизованные сервисные партнеры или непосредственно TEL. Установка и калибровка должны производиться сертифицированными инженерами.
2. Точная идентификация: Для 100% точного определения совместимости необходимо обращаться к официальным техническим каталогам запчастей (Parts Catalog) для конкретной модели оборудования и его серийного номера.
3. Аналоги: На рынке существуют компании, предлагающие восстановленные или совместимые аналоги таких узлов, но их использование может привести к потере гарантии и сбоям в процессе.

Настоятельно рекомендуется вся работа с данными компонентами проводилась в сотрудничестве со службой технической поддержки Tokyo Electron или ее уполномоченными представителями.